裏面入射型積層型CMOSイメージセンサー製造におけるウェハー薄化のためのシリコンのドーピング選択的エッチング

裏面照射型(BSI)CMOSセンサーの準備のための、シリコンドーピング選択的エッチングを用いた裏面薄膜化。HNAケミストリー(HF: HNO3: CH3COOH)を用いて、p+/p-選択性の高いp+/p-シリコン遷移層を形成し、サブミクロンの膜厚変化を実現。

2025-02-28T13:50:50+01:007月 9, 2023|

SECS/GEMの紹介

こんにちは、私はイウィン・リーです。現在ネクスジェン・ウェーハ・システムズでソフトウェア・リードとして働いているソフトウェア・エンジニアです。ソフトウェア開発、そして半導体業界における効率的なソフトウェア・ソリューションと設計の提供に情熱を注いでいます。

2025-02-28T13:51:35+01:0010月 18, 2022|
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