在制造背面发光堆叠式 CMOS 图像传感器过程中,对硅进行掺杂选择性蚀刻以减薄晶圆
利用硅掺杂选择性蚀刻技术进行背面减薄,以制备背面发光 (BSI) CMOS 传感器。 定制的 HNA 化学(HF:HNO3:CH3COOH)用于停在具有高 p+/p- 选择性的专用 p+/p- 硅过渡层上,提供亚微米级的总厚度变化。
利用硅掺杂选择性蚀刻技术进行背面减薄,以制备背面发光 (BSI) CMOS 传感器。 定制的 HNA 化学(HF:HNO3:CH3COOH)用于停在具有高 p+/p- 选择性的专用 p+/p- 硅过渡层上,提供亚微米级的总厚度变化。
大家好,我是 Iwin Lee,是一名软件工程师,目前在 NexGen Wafer Systems 担任软件主管。 我热衷于软件开发,热衷于为半导体行业提供高效的软件解决方案和设计。