在制造背面发光堆叠式 CMOS 图像传感器过程中,对硅进行掺杂选择性蚀刻以减薄晶圆

利用硅掺杂选择性蚀刻技术进行背面减薄,以制备背面发光 (BSI) CMOS 传感器。 定制的 HNA 化学(HF:HNO3:CH3COOH)用于停在具有高 p+/p- 选择性的专用 p+/p- 硅过渡层上,提供亚微米级的总厚度变化。

在制造背面发光堆叠式 CMOS 图像传感器过程中,对硅进行掺杂选择性蚀刻以减薄晶圆2024-02-14T11:50:29+01:00
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